1、收集與生產工藝相關的數據和資料室內溫濕度的基數和精度，需要與工藝設計人員反復確定并定下合理的參數，不要一味追求高標準，因為基數和精度對投資和運行費用有很大的影響，但滿足工藝的基本要求是必要的。

2、收集凈化工程所在地的氣象資料和周圍環境的資料

① 室外設計參數除一年四季的氣象資料外，還需要收集當地的環境，如：含塵濃度和會影響產品和生產工藝的各種氣體的濃度。

② 凈化工程周圍鐵路、碼頭、飛機場等交通樞紐和交通要道的距離。凈化工程周圍的工廠、倉庫、堆場，遠離這些場所，如無法遠離，要采取相應的措施，如：新風入口加裝過濾器級別根據測得的數據來定，還要考慮是否有必要加裝化學過濾器。

③ 收集生產過程中會產生的廢熱和有毒有害的廢氣的相關資料

3、確定廢熱氣體的溫度和排風的量

4、有毒有害氣體的濃度、溫度和危害程度及排風的風量，并要考慮處理的對策。

① 收集生產工藝對電、水和特種氣體、大宗氣體的要求

② 收集凈化工程建筑、結構和工藝設計的平剖面圖

5、工藝設計，凈化工程裝修用于的工藝種類繁多，但是，總的原則是生產工藝設備的安裝和維修，生產工藝的流程，操作程序，人員流動路線和物料傳輸布置時，應避免發生氣流干擾和交叉污染的發生。

6、在滿足生產工藝和微震的控制，噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度要求高的電子廠凈化工程裝修(區)宜靠近空調機房布置，空氣潔凈度等級相同的工序或工作(區)宜集中布置。

7、應根據工藝設計要求設置運輸、安裝、維修的通道或檢修門。

8、人員出入凈化工程裝修應該設置人員凈化裝置。

9、物料，設備出入凈化工程裝修要設置凈化設施，設置氣閘室或傳遞窗。

10、潔凈區域內設置真空泵時，應有除油裝置，尾氣排放應接至室外，傳輸有可燃氣體的系統，其濃度超過爆炸下限 20%時應有尾氣處理裝置，應去除或稀釋可燃氣體的成份，傳輸易燃自燃化學品或高濃度氧氣時，應采用不燃的泵油，并配置氮氣吹掃控制閥，并且與工藝設備的操作系統聯鎖。